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主营产品
SEMIMAP化合物半导体电阻率测量、半导体专用检测仪设备COREMA-WT/VT/ER、美国AST椭偏仪、CV仪/汞探针(美国四维公司)Four Dimensions,Inc.(4D)、FSM128非接触薄膜应力测试、扩散炉/LPCVD/diffusion and LPCVD Furnace、WEP,ECV PN结深度测试仪/扩散浓度分布)、Solarius+3D形貌+轮廓仪、美国Mactronix硅片倒片机(半导体FAB专用)、晶圆/硅片划遗线检测/统计Slip Finder、PN结漏电流测试Mo-280等产品。